Structural characterization of different insulating films by spectroscopic ellipsometry and grazing x‐ray reflectance

P. Boher; J.L. Stehle; L. Hennet

doi:10.1557/proc-446-369

Article Dans Une Revue MRS Online Proceedings Library Année : 1996

Structural characterization of different insulating films by spectroscopic ellipsometry and grazing x‐ray reflectance

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P. Boher

Fonction : Auteur

SOPRA

J.L. Stehle

Fonction : Auteur

SOPRA

L. Hennet

Fonction : Auteur
PersonId : 183728
IdHAL : louis-hennet
ORCID : 0000-0002-2992-4800

Laboratoire de Métallurgie Physique et Science des Matériaux (URA CNRS 155)

CV

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

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https://hal.science/hal-02540713

Soumis le : samedi 11 avril 2020-18:35:21

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:15

Dates et versions

hal-02540713 , version 1 (11-04-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02540713 , version 1
DOI : 10.1557/proc-446-369

Citer

P. Boher, J.L. Stehle, L. Hennet. Structural characterization of different insulating films by spectroscopic ellipsometry and grazing x‐ray reflectance. MRS Online Proceedings Library, 1996, 446, ⟨10.1557/proc-446-369⟩. ⟨hal-02540713⟩

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