Photolithographic patterning of high-k fluoropolymer dielectrics

Konstantinos Kallitsis (1, 2) , Damien Thuau (3) , Thibaut Soulestin (4) , Eric Cloutet (1, 2) , Cyril Brochon (1, 2) , Fabrice Domingues-dos Santos (4) , Georges Hadziioannou (1, 2)

1 LCPO - Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques
2 Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
3 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
4 Piezotech SAS - Piezotech SAS

Domaines: Physique [physics]; Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Konstantinos Kallitsis, Damien Thuau, Thibaut Soulestin, Eric Cloutet, Cyril Brochon, et al.. Photolithographic patterning of high-k fluoropolymer dielectrics. European Polymer Congress EPF 2019, Jun 2019, Heraklion, France. ⟨hal-02481970⟩