Growth of thick and heavily boron-doped (113)-oriented CVD diamond films

Marie-Amandine Pinault-Thaury (1) , A. Tallaire (2) , A. Valentin (3) , V. Mille (4) , L. William , M.A. Pinault-Thaury , F. Jomard (1) , J. Barjon (1) , J. Achard (2)

1 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée
2 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
3 LPMA - Laboratoire de Physique moléculaire et applications
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Marie-Amandine Pinault-Thaury, A. Tallaire, A. Valentin, V. Mille, L. William, et al.. Growth of thick and heavily boron-doped (113)-oriented CVD diamond films. Diamond and Related Materials, 2016, 66, pp.61-66. ⟨10.1016/j.diamond.2016.03.020⟩. ⟨hal-02441087⟩