2D PIC-MCC simulations of magnetron plasma in HiPIMS regime with external circuit - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Plasma Sources Science and Technology Année : 2018
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Dates et versions

hal-02436555 , version 1 (13-01-2020)

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Citer

Adrien Revel, Tiberiu Minea, Claudiu Costin. 2D PIC-MCC simulations of magnetron plasma in HiPIMS regime with external circuit. Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (10), pp.105009. ⟨10.1088/1361-6595/aadebe⟩. ⟨hal-02436555⟩
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