Hydrogen evolution in hydrogenated microcrystalline silicon carbide thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics Année : 2019

Hydrogen evolution in hydrogenated microcrystalline silicon carbide thin films

Soumia Nemmour
  • Fonction : Auteur
Siham Djoumi
  • Fonction : Auteur
Fatiha Kail
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 877717
LPC2ME
Pere Roura-Grabulosa
  • Fonction : Auteur
Pere Roca I Cabarrocas
Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
Larbi Chahed
  • Fonction : Auteur

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Pere Roca Cabarrocas  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02414471

Soumis le : lundi 16 décembre 2019-16:14:33

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02414471 , version 1 (16-12-2019)

Identifiants

Citer

Soumia Nemmour, Siham Djoumi, Fatiha Kail, Pere Roura-Grabulosa, Pere Roca I Cabarrocas, et al.. Hydrogen evolution in hydrogenated microcrystalline silicon carbide thin films. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2019, 37 (3), pp.031218. ⟨10.1116/1.5090174⟩. ⟨hal-02414471⟩

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