Phase formation sequence and cobalt behavior in the Ni0.9 Co0.1 system during the thin film solid-state formation

Ph. Rodriguez (1) , F. Deprat (1) , C. Sésé (1) , S. Zhiou (1) , S. Favier (2) , C. Fenouillet-Beranger (1) , T. Luo (3) , D. Mangelinck (3) , P. Gergaud (1) , F. Nemouchi (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Domaines: Matériaux

Ph. Rodriguez, F. Deprat, C. Sésé, S. Zhiou, S. Favier, et al.. Phase formation sequence and cobalt behavior in the Ni0.9 Co0.1 system during the thin film solid-state formation. Microelectronic Engineering, 2018, 200, pp.19-25. ⟨10.1016/j.mee.2018.08.006⟩. ⟨hal-02403223⟩