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Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Investigation of low temperature inductively coupled plasma chemical vapor deposition for flexible electronics

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Anne-Claire Salaün  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02401754

Soumis le : mardi 10 décembre 2019-10:57:44

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02401754 , version 1 (10-12-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02401754 , version 1

Citer

K. Yang, O. De Sagazan, Laurent Pichon, Anne-Claire Salaün, N. Coulon. Investigation of low temperature inductively coupled plasma chemical vapor deposition for flexible electronics. E-MRS 2019 Spring Meeting, May 2019, Nice, France. ⟨hal-02401754⟩

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