Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé réactif HiPIMS par fluorescence induite par diode laser - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé réactif HiPIMS par fluorescence induite par diode laser

D. Boivin
  • Fonction : Auteur
A. El Farsy
  • Fonction : Auteur
C. Noël
  • Fonction : Auteur
S. Cuynet
J. Bougdira
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02372090 , version 1 (20-11-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02372090 , version 1

Citer

D. Boivin, A. El Farsy, L. De Poucques, C. Noël, S. Cuynet, et al.. Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé réactif HiPIMS par fluorescence induite par diode laser. 15ieme Congrès de la Société Française de Physique, division Plasmas, Jun 2018, Bordeaux, France. ⟨hal-02372090⟩
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