Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé R-HiPIMS et corrélation avec les propriétés des dépôts de type TiN

A. El Farsy (1) , D. Boivin (1) , A. Najah (1) , S. Cuynet (1) , C. Noël (1) , R. Hugon (1) , J. Bougdira (1) , L. De Poucques (1)

1 IJL - Institut Jean Lamour

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

A. El Farsy, D. Boivin, A. Najah, S. Cuynet, C. Noël, et al.. Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé R-HiPIMS et corrélation avec les propriétés des dépôts de type TiN. 1eres Rencontres Scientifiques Plasmas Froids et Lasers, Nov 2019, Toulouse, France. ⟨hal-02372082⟩