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Journal articles
Experimental and kinetic studies of C–H–O plasmas for polycrystalline and nano-smooth diamond deposition
J.L. Delfau 3
Author
M.I. de Barros-Bouchet
Author
1
IJL - Institut Jean Lamour (Institut Jean Lamour - CNRS - Université de Lorraine. Campus Artem 2 allée André Guinier BP 50840 54011 Nancy Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7198 (France)
2
ICARE - Institut de Combustion, Aérothermique, Réactivité et Environnement (1C, avenue de la Recherche Scientifique, CS 50060, 45071 - Orléans Cedex 2 - France)
- UO - Université d'Orléans : UPR 3021 (Château de la Source - Avenue du Parc Floral - BP 6749 - 45067 Orléans cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR 3021 (France)
- INSIS - Institut des Sciences de l'Ingénierie et des Systèmes : UPR 3021 (France)
3
LCSR - Laboratoire de combustion et systèmes reactifs (1 C Av de la recherche scientifique - 45071 ORLEANS CEDEX 2 - France)
- UO - Université d'Orléans : UPR 4211 (Château de la Source - Avenue du Parc Floral - BP 6749 - 45067 Orléans cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR 4211 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02326561
Contributor : Thomas Gries <>
Submitted on : Tuesday, October 22, 2019 - 3:19:22 PM
Last modification on : Monday, April 6, 2020 - 2:44:05 PM
Contributor : Thomas Gries <>
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Last modification on : Monday, April 6, 2020 - 2:44:05 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02326561, version 1
- DOI : 10.1016/j.diamond.2009.01.032
Collections
CNRS | UNIV-LORRAINE | INC-CNRS | UNIV-ORLEANS | CNRS_ICARE | IJL-UL
Citation
T. Gries, S. de Persis, L. Vandenbulcke, C. Met, J.L. Delfau, et al.. Experimental and kinetic studies of C–H–O plasmas for polycrystalline and nano-smooth diamond deposition. Diamond and Related Materials, Elsevier, 2009, 18 (5-8), pp.730-733. ⟨10.1016/j.diamond.2009.01.032⟩. ⟨hal-02326561⟩
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