Doppler-broadened Hα line shapes in A dc low-pressure discharge for TiN deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Chemical Physics Année : 1988

Dates et versions

hal-02190625 , version 1 (22-07-2019)

Identifiants

Citer

G. Sultan, G. Baravian, M. Gantois, G. Henrion, H. Michel, et al.. Doppler-broadened Hα line shapes in A dc low-pressure discharge for TiN deposition. Chemical Physics, 1988, 123 (3), pp.423-429. ⟨10.1016/0301-0104(88)87051-4⟩. ⟨hal-02190625⟩
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