Plasma diagnostics for the control of reactive magnetron deposition process

Frédéric Perry; B. Stauder; G. Henrion; Ph. Pigeat

doi:10.1016/0257-8972(95)08334-0

Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 1995

Plasma diagnostics for the control of reactive magnetron deposition process

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Frédéric Perry

Fonction : Auteur
PersonId : 790454
IdRef : 146706595

Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications

B. Stauder

Fonction : Auteur

Laboratoire de science et génie des surfaces

G. Henrion

Fonction : Auteur
PersonId : 172347
IdHAL : gerard-henrion
ORCID : 0000-0002-8963-6472
IdRef : 130897620

Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications

CV

Ph. Pigeat

Fonction : Auteur

Laboratoire de science et génie des surfaces

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph] Matériaux Plasmas

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https://hal.science/hal-02190589

Soumis le : lundi 22 juillet 2019-15:39:06

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:11

Dates et versions

hal-02190589 , version 1 (22-07-2019)

Identifiants

HAL Id : hal-02190589 , version 1
DOI : 10.1016/0257-8972(95)08334-0

Citer

Frédéric Perry, B. Stauder, G. Henrion, Ph. Pigeat. Plasma diagnostics for the control of reactive magnetron deposition process. Surface and Coatings Technology, 1995, 74-75, pp.575-579. ⟨10.1016/0257-8972(95)08334-0⟩. ⟨hal-02190589⟩

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