Crystal quality of SiGe films fabricated by the condensation technique and characterized by medium energy ion scattering

Fabien Rozé (1) , Francois Pierre (2) , Olivier Gourhant (2) , François Bertin (2) , Elisabeth Blanquet (3) , Denis Rouchon (2)

1 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Fabien Rozé, Francois Pierre, Olivier Gourhant, François Bertin, Elisabeth Blanquet, et al.. Crystal quality of SiGe films fabricated by the condensation technique and characterized by medium energy ion scattering. Semiconductor Science and Technology, 2019, 34 (6), pp.065005. ⟨10.1088/1361-6641/ab171c⟩. ⟨hal-02169850⟩