(Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films: influence of the deposition and annealing conditions on the structure and electrical properties

Laurent Le Gendre (1) , Claire Le Paven (1) , Mohamad Haydoura (1) , Ratiba Benzerga (2) , Florent Marlec (1) , Ala Sharaiha (1) , Franck Tessier (3) , François Cheviré (3)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Laurent Le Gendre, Claire Le Paven, Mohamad Haydoura, Ratiba Benzerga, Florent Marlec, et al.. (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films: influence of the deposition and annealing conditions on the structure and electrical properties. 10th International Symposium on NiTrides (ISNT 2019), Jun 2019, Barcelone, Spain. ⟨hal-02134839⟩