Functionalization of Silica Nanoparticles and Native Silicon Oxide with Tailored Boron-Molecular Precursors for Efficient and Predictive p -Doping of Silicon

Laurent Mathey (1) , Thibault Alphazan (1) , Maxence Valla (2) , Laurent Veyre (3) , Hervé Fontaine (1) , Virginie Enyedi (1) , Karim Yckache , Marianne Danielou , Sébastien Kerdilès (1) , Jean Guerrero , Jean Barnes , Marc Veillerot (1) , Nicolas Chevalier , Denis Mariolle (1) , François Bertin (1) , Corentin Durand (4) , Maxime Berthe (4) , Jolien Dendooven (5) , François Martin , Chloé Thieuleux (3) , B. Grandidier (4) , Christophe Copéret (2)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ETH Zürich - Eidgenössische Technische Hochschule - Swiss Federal Institute of Technology [Zürich]
3 C2P2 - Laboratoire de Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés, R 5265
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 UGENT - Universiteit Gent = Ghent University

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Laurent Mathey, Thibault Alphazan, Maxence Valla, Laurent Veyre, Hervé Fontaine, et al.. Functionalization of Silica Nanoparticles and Native Silicon Oxide with Tailored Boron-Molecular Precursors for Efficient and Predictive p -Doping of Silicon. Journal of Physical Chemistry C, 2015, 119 (24), pp.13750-13757. ⟨10.1021/acs.jpcc.5b03408⟩. ⟨hal-02084783⟩