Oxydation locale d’une couche de titane par AFM pour la réalisation de composants mono-électroniques : étude paramétrée de différents modes de types de pointes

Nicolas Guillaume (1) , Etienne Puyoo (1) , Martine Le Berre (1) , David Albertini , Nicolas Baboux (1) , Céline Chevalier (2) , Brice Gautier (1) , Calmon F. (1)

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Nicolas Guillaume, Etienne Puyoo, Martine Le Berre, David Albertini, Nicolas Baboux, et al.. Oxydation locale d’une couche de titane par AFM pour la réalisation de composants mono-électroniques : étude paramétrée de différents modes de types de pointes. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, May 2014, Lille, France. ⟨hal-02075131⟩