Nanoscale calibration of n-type ZnO staircase structures by scanning capacitance microscopy

L. Wang (1) , J. Laurent (1) , J. Chauveau (2) , V. Sallet (3) , F. Jomard (3) , G. Bremond (1)

1 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
2 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
3 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

L. Wang, J. Laurent, J. Chauveau, V. Sallet, F. Jomard, et al.. Nanoscale calibration of n-type ZnO staircase structures by scanning capacitance microscopy. Applied Physics Letters, 2015, 107 (19), pp.192101. ⟨10.1063/1.4935349⟩. ⟨hal-02073148⟩