In-situ characterization of the movement of oxygen vacancies during the electrical switching of an oxide-based memory using both conventional and vertex components analysis

E. Villepreux , David Cooper (1) , Carmen Jimenez (2) , Mireille Mouis (3)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

E. Villepreux, David Cooper, Carmen Jimenez, Mireille Mouis. In-situ characterization of the movement of oxygen vacancies during the electrical switching of an oxide-based memory using both conventional and vertex components analysis. 11èmes Journées "Electron Energy Loss Spectroscopy" (JEELS 2018), Jun 2018, Porquerolles, France. ⟨hal-02070461⟩