Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Claude Yugma : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02067544
Soumis le : jeudi 14 mars 2019-11:56:56
Dernière modification le : samedi 20 avril 2024-03:15:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02067544 , version 1
Citer
Aabir Chouichi, Jakey Blue, Claude Yugma, François Pasqualini. THE DETECTION AND THE CONTROL OF MACHINE/CHAMBER MISMATCHING IN SEMICONDUCTORMANUFACTURING. Winter Simulation Conference (WSC) 2018, Dec 2018, Gotheborg, Sweden. ⟨hal-02067544⟩
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