Iterative deconvolution using the MRI model for removing experimental broadening and shift effects in SIMS depth profiles - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Interface Analysis Année : 2018

Iterative deconvolution using the MRI model for removing experimental broadening and shift effects in SIMS depth profiles

Fayçal Boulsina
  • Fonction : Auteur
Brice Gautier
INL - Dispositifs Electroniques
CV

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Brice GAUTIER  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02024711

Soumis le : mardi 19 février 2019-12:02:07

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:09

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Dates et versions

hal-02024711 , version 1 (19-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02024711 , version 1

Citer

Fayçal Boulsina, Brice Gautier. Iterative deconvolution using the MRI model for removing experimental broadening and shift effects in SIMS depth profiles. Surface and Interface Analysis, 2018, 50 (12-13), pp.1336-1342. ⟨hal-02024711⟩

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