Visualizing the incipient Atomic Layer Deposition of ZnO ultra thin films on In0.53Ga0.47As for tailoring contact resistivity

E. Skopin (1) , M.I. Richard (2) , L. Rapenne (1) , A. Crisci (3) , E. Blanquet (3) , G. Ciatto (4) , J.L. Deschanvres (1) , D.D. Fong , Hubert Renevier (1)

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL

Domaines: Matériaux

E. Skopin, M.I. Richard, L. Rapenne, A. Crisci, E. Blanquet, et al.. Visualizing the incipient Atomic Layer Deposition of ZnO ultra thin films on In0.53Ga0.47As for tailoring contact resistivity. E-MRS Spring 2017, May 2017, Strasbourg, France. ⟨hal-02016907⟩