Characterization of the electrical properties of advanced silicon-on-insulator (SOI) materials and devices - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2014

Characterization of the electrical properties of advanced silicon-on-insulator (SOI) materials and devices

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Frédérique Ducroquet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02010268

Soumis le : jeudi 7 février 2019-08:49:48

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Dates et versions

hal-02010268 , version 1 (07-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02010268 , version 1

Citer

Sorin Cristoloveanu,. Characterization of the electrical properties of advanced silicon-on-insulator (SOI) materials and devices. Ed. by O. Kononchuk and B.Y. Nguyen eds. Silicon-on-Insulator (SOI) Technology : Manufacture and Applications, 58, Woodhead Publishing, pp.52-76, 2014, 978-0-85709-526-8. ⟨hal-02010268⟩

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