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Article Dans Une Revue Nano Année : 2018

The Effect of Plasma Gas Composition on the Nanostructures and Optical Properties of TiO 2 Films Prepared by Helicon-PECVD

D. Li
  • Fonction : Auteur
S. Dai
  • Fonction : Auteur
A. Goullet
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux Jean Rouxel
A. Granier
  • Fonction : Auteur
Station de sylviculture et de production

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

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https://hal.science/hal-01972272

Soumis le : lundi 7 janvier 2019-15:55:24

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Dates et versions

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Identifiants

  • HAL Id : hal-01972272 , version 1

Citer

D. Li, S. Dai, A. Goullet, A. Granier. The Effect of Plasma Gas Composition on the Nanostructures and Optical Properties of TiO 2 Films Prepared by Helicon-PECVD. Nano, 2018, 13 (10), pp.1850124. ⟨hal-01972272⟩

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