New insights on SiGe growth instabilities

I. Berbezier (1) , B. Gallas , Laurent Lapena (2) , J Fernandez , J. Derrien (2) , B Joyce

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 CINaM - Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

I. Berbezier, B. Gallas, Laurent Lapena, J Fernandez, J. Derrien, et al.. New insights on SiGe growth instabilities. Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 1998, 16 (3), pp.1582. ⟨hal-01964195⟩