Integration of SPAD in 28nm FDSOI CMOS technology

T. Chaves de Albuquerque (1) , F. Calmon (1) , R. Clerc (2) , P. Pittet (3) , Y. Benhammou (1, 4) , D. Golanski (4) , S. Jouan (4) , D. Rideau (4) , A. Cathelin (4)

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 LHC - Laboratoire Hubert Curien
3 INL - CSH - INL - Conception de Systèmes Hétérogènes
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

T. Chaves de Albuquerque, F. Calmon, R. Clerc, P. Pittet, Y. Benhammou, et al.. Integration of SPAD in 28nm FDSOI CMOS technology. ESSDERC, 2018, Dresden, Germany. ⟨10.1109/ESSDERC.2018.8486852⟩. ⟨hal-01958249⟩