A comparative study of nickel silicides and nickel germanides: Phase formation and kinetics

F. Nemouchi (1) , Dominique Mangelinck (2) , J. L. Labar , Magali Putero (2) , C. Bergman , P. Gas (3)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
3 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence

Domaines: Matériaux

F. Nemouchi, Dominique Mangelinck, J. L. Labar, Magali Putero, C. Bergman, et al.. A comparative study of nickel silicides and nickel germanides: Phase formation and kinetics. Microelectronic Engineering, 2006, 83 (11-12), pp.2101-2106. ⟨10.1016/j.mee.2006.09.014⟩. ⟨hal-01951273⟩