Article Dans Une Revue
Journal of Physics: Conference Series
Année : 2017
Guillaume Graton : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01893099
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018-10:01:30
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01893099 , version 1
- DOI : 10.1088/1742-6596/783/1/012042
Citer
M. Jebri, M. El Adel, G. Graton, M. Ouladsine, J. Pinaton. Virtual Metrology applied in Run-to-Run Control for a Chemical Mechanical Planarization process. Journal of Physics: Conference Series, 2017, 783, ⟨10.1088/1742-6596/783/1/012042⟩. ⟨hal-01893099⟩
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