Virtual metrology on semiconductor manufacturing based on Just-in-time learning**This work is a part of the European project ”INTEGRATE”, and carried by STMicroelectronics Fab

M. Jebri; M. El Adel; G. Graton; M. Ouladsine; J. Pinaton

doi:10.1016/j.ifacol.2016.07.555

Article Dans Une Revue IFAC-PapersOnLine Année : 2016

Virtual metrology on semiconductor manufacturing based on Just-in-time learning**This work is a part of the European project ”INTEGRATE”, and carried by STMicroelectronics Fab

, , , (1) ,

1

M. Jebri

Fonction : Auteur

M. El Adel

Fonction : Auteur

G. Graton

Fonction : Auteur

M. Ouladsine

Fonction : Auteur

Laboratoire des Sciences de l'Information et des Systèmes

J. Pinaton

Fonction : Auteur

Domaines

Automatique / Robotique

Guillaume Graton : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01893090

Soumis le : jeudi 11 octobre 2018-09:56:12

Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07

Dates et versions

hal-01893090 , version 1 (11-10-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01893090 , version 1
DOI : 10.1016/j.ifacol.2016.07.555

Citer

M. Jebri, M. El Adel, G. Graton, M. Ouladsine, J. Pinaton. Virtual metrology on semiconductor manufacturing based on Just-in-time learning**This work is a part of the European project ”INTEGRATE”, and carried by STMicroelectronics Fab. IFAC-PapersOnLine, 2016, 49 (12), pp.89 - 94. ⟨10.1016/j.ifacol.2016.07.555⟩. ⟨hal-01893090⟩

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