Integration of functional oxides on SOI for agile silicon photonics

P. Rojo Romeo , X. Hu (1) , S. Cueff , B. Wague , R. Orobtchouk (2) , B. Vilqui , Romain Bachelet (3) , G. Grenet , C. Dubourdieu (4) , P. Regreny (3) , G. Saint-Girons (3) , P. Castera , A. Gutierrez , N. Sanchez (5) , T. Angelova , P. Sanchis , S. Abel (6) , J. Fompeyrine (7)

1 MPS - Max-Planck-Institut für Sonnensystemforschung = Max Planck Institute for Solar System Research
2 INL - Photonique - INL - Nanophotonique
3 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
4 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
5 LERMA - Laboratoire d'Etude du Rayonnement et de la Matière en Astrophysique
6 SMPSD - Système membranaires, photobiologie, stress et détoxication
7 Zuumlrich Research Laboratory

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Optique [physics.optics]

P. Rojo Romeo, X. Hu, S. Cueff, B. Wague, R. Orobtchouk, et al.. Integration of functional oxides on SOI for agile silicon photonics. 2015 17th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON), Jul 2015, Budapest, Hungary. ⟨10.1109/ICTON.2015.7193606⟩. ⟨hal-01848735⟩