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Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2015

XPS combined with MM-EPES technique for in situ study of ultra thin film deposition: Application to an Au/SiO 2 /Si structure

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Robert-Goumet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01827587

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Citer

Christine Robert-Goumet, Mohamed Aymen Mahjoub, Guillaume Monier, Luc Bideux, Bernard Gruzza. XPS combined with MM-EPES technique for in situ study of ultra thin film deposition: Application to an Au/SiO 2 /Si structure. Applied Surface Science, 2015, 357, pp.1268 - 1273. ⟨10.1016/j.apsusc.2015.09.154⟩. ⟨hal-01827587⟩

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