N-POEM: Nanostructures imprinted on polymers and Si for electromagnetic applications

C. Gourgon (1, 2) , A. Ferchichi (1, 2) , M. Panabière (1, 2) , E. Grinenval (2, 1) , O. Desplats (2, 1) , J.B. Brückner (3) , Ludovic Escoubas (3) , Judikaël Le Rouzo (3) , N. Mikuszeit (2) , B. Viala (2) , C. Dubarry (2) , Brissonneau V. (2) , Nicolas Vukadinovic (4) , G. Berginc (5) , Thierry Lannuzel (6)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 Dassault Aviation
5 Thalès Optronique
6 Arkema - Arkema

Domaines: Physique [physics]

C. Gourgon, A. Ferchichi, M. Panabière, E. Grinenval, O. Desplats, et al.. N-POEM: Nanostructures imprinted on polymers and Si for electromagnetic applications. Micro- and Nano-Engineering conference- MNE 2014, 2014, Lausanne, Switzerland. ⟨hal-01798495⟩