Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer

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Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2017, 23 (9), pp.3873 - 3880. 〈10.1007/s00542-015-2727-9〉
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Contributeur : Emmanuelle Algre <>
Soumis le : jeudi 19 avril 2018 - 16:35:34
Dernière modification le : jeudi 13 septembre 2018 - 15:24:08

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Etienne Herth, Laurie Valbin, Franck Lardet-Vieudrin, Emmanuelle Algre. Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2017, 23 (9), pp.3873 - 3880. 〈10.1007/s00542-015-2727-9〉. 〈hal-01771659〉

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