Article Dans Une Revue
Microsystem Technologies
Année : 2017
Emmanuelle Algre : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01771659
Soumis le : jeudi 19 avril 2018-16:35:34
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:12
Citer
Etienne Herth, Laurie Valbin, Franck Lardet-Vieudrin, Emmanuelle Algre. Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer. Microsystem Technologies, 2017, 23 (9), pp.3873 - 3880. ⟨10.1007/s00542-015-2727-9⟩. ⟨hal-01771659⟩
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