Modeling and characterization of piezoelectric beams based on an aluminum nitride thin-film layer

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physica status solidi (a), Wiley, 2016, 213 (1), pp.114 - 121. 〈10.1002/pssa.201532302〉
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Contributeur : Emmanuelle Algre <>
Soumis le : jeudi 19 avril 2018 - 16:32:06
Dernière modification le : jeudi 18 octobre 2018 - 01:21:52

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Etienne Herth, Emmanuelle Algre, Jean-Yves Rauch, Jean-Claude Gerbedoen, Nicolas Defrance, et al.. Modeling and characterization of piezoelectric beams based on an aluminum nitride thin-film layer. physica status solidi (a), Wiley, 2016, 213 (1), pp.114 - 121. 〈10.1002/pssa.201532302〉. 〈hal-01771653〉

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