Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives

V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
Jean Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866472
Institut Européen des membranes

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Vincent Rouessac  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01741486

Soumis le : vendredi 23 mars 2018-10:45:55

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

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Dates et versions

hal-01741486 , version 1 (23-03-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01741486 , version 1

Citer

V. Rouessac, Jean Durand. Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives. Matériaux 2002, Oct 2002, Tous, France. ⟨hal-01741486⟩

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