Self-diffusion in single crystalline silicon nanowires

T. Südkamp (1) , G. Hamdana (2) , M. Descoins (3) , Dominique Mangelinck (3) , H. Wasisto (2) , E. Peiner (2) , H. Bracht (1)

1 Institute of Materials Physics
2 Institute of Semiconductor Technology
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Domaines: Matériaux

T. Südkamp, G. Hamdana, M. Descoins, Dominique Mangelinck, H. Wasisto, et al.. Self-diffusion in single crystalline silicon nanowires. Journal of Applied Physics, 2018, 123 (16), ⟨10.1063/1.4996987⟩. ⟨hal-01728694⟩