Effect of boron incorporation on the structure and electrical properties of diamond-like carbon films deposited by femtosecond and nanosecond pulsed laser ablation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2009

Effect of boron incorporation on the structure and electrical properties of diamond-like carbon films deposited by femtosecond and nanosecond pulsed laser ablation

C. Sanchez-Lopez
  • Fonction : Auteur
J.-N. Rouzaud
  • Fonction : Auteur
C. Rojas
  • Fonction : Auteur
A.-S. Loir
Jean-Luc Garden

Dates et versions

hal-01727759 , version 1 (09-03-2018)

Identifiants

Citer

A. Sikora, Olivier Bourgeois, C. Sanchez-Lopez, J.-N. Rouzaud, C. Rojas, et al.. Effect of boron incorporation on the structure and electrical properties of diamond-like carbon films deposited by femtosecond and nanosecond pulsed laser ablation. Thin Solid Films, 2009, 518 (5), pp.1470 - 1474. ⟨10.1016/j.tsf.2009.09.111⟩. ⟨hal-01727759⟩
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