Atomic Layer Deposition Alumina-Passivated Silicon Nanowires: Probing the Transition from Electrochemical Double-Layer Capacitor to Electrolytic Capacitor

Dorian Gaboriau (1) , Maxime Boniface (2) , Anthony Valero (1) , Dmitry Aldakov (1) , Thierry Brousse (3) , Pascal Gentile (4) , Saïd Sadki (1)

1 STEP - Synthèse, Structure et Propriétés de Matériaux Fonctionnels
2 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
3 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
4 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Dorian Gaboriau, Maxime Boniface, Anthony Valero, Dmitry Aldakov, Thierry Brousse, et al.. Atomic Layer Deposition Alumina-Passivated Silicon Nanowires: Probing the Transition from Electrochemical Double-Layer Capacitor to Electrolytic Capacitor. ACS Applied Materials & Interfaces, 2017, 9 (15), pp.13761 - 13769. ⟨10.1021/acsami.7b01574⟩. ⟨hal-01720979⟩