Flexible Platinum Nanoparticle-based Piezoresistive Transducers Elaborated by Atomic Layer Deposition

Etienne Puyoo (1) , Christophe Malhaire (1) , Daniel Thomas (2, 1) , Rémi Rafael (1) , Mohamed R'Mili , Annie Malchere (3) , Lucian Roiban (3) , S. Koneti , Matthieu Bugnet (3) , Andreï Sabac (4, 1) , Martine Le Berre (1)

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 STI-IMM-LEG
3 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
4 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)

no abstract

Domaines: Physique [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Optique [physics.optics]; Optique / photonique; Matériaux

Etienne Puyoo, Christophe Malhaire, Daniel Thomas, Rémi Rafael, Mohamed R'Mili, et al.. Flexible Platinum Nanoparticle-based Piezoresistive Transducers Elaborated by Atomic Layer Deposition. AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition, Jan 2017, Denver, United States. ⟨hal-01701470⟩