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Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Advances in nitride film and coating growth by chemical vapor deposition

Manoel Jacquemin
  • Fonction : Auteur
Juan Su
  • Fonction : Auteur
Raphael Boichot
  • Fonction : Auteur
Frederic Mercier
  • Fonction : Auteur
Sabine Lay
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 739161
  • IdHAL : sabine-lay

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01677320 , version 1 (08-01-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01677320 , version 1

Citer

Michel Pons, Danying Chen, Manoel Jacquemin, Juan Su, Raphael Boichot, et al.. Advances in nitride film and coating growth by chemical vapor deposition. 78th Japan Society of Applied Physics Conference, Sep 2017, Fukuoka, Japan. ⟨hal-01677320⟩
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