Modulateur de cohérence intégré en GaAlAs sur GaAs au réseau de capteurs

Sabry Khalfallah (1) , Pascal Dubreuil (2) , Laurent Escotte (1) , René Legros (3) , Chantal Fontaine (3) , A. Muñoz-Yagüe (3) , Bruno Bêche (4, 5) , Wilhelm Elflein (6) , Henri Porte (7)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
3 LAAS-PHOTO - Équipe Photonique
4 IUF - Institut universitaire de France
5 IPR - Institut de Physique de Rennes
6 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
7 Photline Technologies - Photline Technologies

Domaines: Optique / photonique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Matériaux; Physique Générale [physics.gen-ph]

Sabry Khalfallah, Pascal Dubreuil, Laurent Escotte, René Legros, Chantal Fontaine, et al.. Modulateur de cohérence intégré en GaAlAs sur GaAs au réseau de capteurs. 7ème Journées Nationales de Microélectronique et Optoélectronique, Jan 1999, Egat, France. ⟨hal-01556269⟩