Structural and optical properties of TiO2 thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01552421 , version 1 (02-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01552421 , version 1

Citer

Thomas Schneider, Thomas Begou, A. Soussou, Antoine Goullet, Marie-Paule Besland, et al.. Structural and optical properties of TiO2 thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition. 16th International Colloquium on Plasma Processes, 2007, Toulouse, France. ⟨hal-01552421⟩
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