Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N.

Y. Lu , D. Benzeggouta (1, 2) , H. Nguyen , Ratiba Benzerga , C. Le Paven , L. Le Gendre , A. Sharaiha , C. Delaveaud , Ian Vickridge (1, 2) , F. Tessier , François Cheviré

1 INSP - Institut des Nanosciences de Paris
2 INSP-E5 - Couches nanométriques : formation, interfaces, défauts

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Y. Lu, D. Benzeggouta, H. Nguyen, Ratiba Benzerga, C. Le Paven, et al.. Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N. . Ion Beam Analysis Francophone, 2012, Cadarache, France. 2012. ⟨hal-01540370⟩