Plasmas Froids: Interactions PlasmaSurface, Modèles, Diagnostics et Procédés

Résumé : P. 11|I, MODELISATION |P. 13|I-1, Dynamique moléculaire pour des nanocristaux de Si dans les plasmas froids – effet de la température / H.-C. Weissker, N. Ning et H. Vach|P. 29|I-2, Modélisation de la croissance de couches minces / A. Dollet. |P. 99|I-3, Approches de modélisation de gravure des matériaux par plasma froid / A. Rhallabi|P. 127|I-4, Modélisation des transferts en projection thermique / D. Gobin, A. Vardelle|P. 141|II, DIAGNOSTICS|P. 143|II-1, Application des spectroscopies infrarouges de réflexion à l’analyse des surfaces / B. Desbat|P. 155|II-2, Analyse par spectrométrie de masse de produits d’interaction plasma-surface / C. Cardinaud|P. 183|III, PROCEDES|P. 185|III-1, Interaction ion/surface en PACVD basse fréquence du TMS / A. Soum-Glaude, L. Thomas, A. Dollet, J.-M. Badie, C. Picard, J. Capeillere, G. Rambaud|P. 211|III-2, Contrôle des dépôts obtenus par PECVD en mélange O2/ HMDSO grâce aux plasmas pulsés / A. Bousquet, A. Goullet, A. Granier |P. 235|III-3, Plasma et couches minces nanocomposites, multicouches, avec insertion de particules, texturées, poreuses / J. Durand|P. 263|III-4, Interaction plasma thermique-surface de poudre : application à la purification du silicium métallurgique / M. Benmansour, D. Morvan|P. 313|III-5, Effet des lasers sur les surfaces avant projection thermique / S. Costil|P. 335|III-6, Science des surfaces en métallurgie : vers de nouveaux outils pour la compréhension des interactions plasma-surface / T. Duguet, J.-M. Dubois, V. Fournée, T. Belmonte
Type de document :
Ouvrage (y compris édition critique et traduction)
Mottin, Stéphane and Lelièvre, Gérard. MRCT-CNRS, pp.365, 2011, Intégrations [des savoirs et des savoir-faire], Mottin, Stéphane, 978-2918701057. 〈https://zenodo.org/communities/integrations〉
Liste complète des métadonnées

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01500932
Contributeur : Stephane Mottin <>
Soumis le : lundi 3 avril 2017 - 17:46:19
Dernière modification le : mardi 21 août 2018 - 09:46:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01500932, version 1

Citation

Grégory Marcos, Richard Clergereaux, Stephane Mottin. Plasmas Froids: Interactions PlasmaSurface, Modèles, Diagnostics et Procédés. Mottin, Stéphane and Lelièvre, Gérard. MRCT-CNRS, pp.365, 2011, Intégrations [des savoirs et des savoir-faire], Mottin, Stéphane, 978-2918701057. 〈https://zenodo.org/communities/integrations〉. 〈hal-01500932〉

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