Metrology issues in the measurement of very small currents and capacitances by atomic force microscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Metrology issues in the measurement of very small currents and capacitances by atomic force microscopy

Brice Gautier
INL - Dispositifs Electroniques
CV
Antonin Grandfond
  • Fonction : Auteur
INL - Dispositifs Electroniques
Octavian Ligor
  • Fonction : Auteur
David Albertini
INL - Plateforme Technologique Nanolyon
Nicolas Baboux
INL - Dispositifs Electroniques
Liviu Militaru
INL - Dispositifs Electroniques

Résumé

no abstract

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique Matériaux

Laboratoire INL UMR5270 Inl  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01490282

Soumis le : mercredi 15 mars 2017-10:47:35

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01490282 , version 1 (15-03-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01490282 , version 1

Citer

Brice Gautier, Antonin Grandfond, Octavian Ligor, David Albertini, Nicolas Baboux, et al.. Metrology issues in the measurement of very small currents and capacitances by atomic force microscopy. Conference on Precision Electromagnetic Measurements, 2014, Rio de Janeiro, Brazil. ⟨hal-01490282⟩

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