Perovskite Oxide MEMS: Strain Control and Sensor Applications

P. Lecoeur (1) , D. Le Bourdais , G. Agnus (1) , T. Maroutian (1) , M. Matzen , L. Largeau (2) , Guillaume Saint-Girons (3) , Bertrand Vilquin (3) , E. Lefeuvre (4)

1 IEF - Institut d'électronique fondamentale
2 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
3 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
4 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]

no abstract

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Optique / photonique; Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

P. Lecoeur, D. Le Bourdais, G. Agnus, T. Maroutian, M. Matzen, et al.. Perovskite Oxide MEMS: Strain Control and Sensor Applications. MRS 2015 Fall Meeting, 2015, Boston (USA), United States. ⟨hal-01489582⟩