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Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Monolithic integration of functional oxides in silicon by chemical solution deposition

M. Gich
  • Fonction : Auteur
J. Vila-Fungueiriño
  • Fonction : Auteur
G. Drisko
L. Picas
J. Gazquez
  • Fonction : Auteur
B. Rivas-Murias
  • Fonction : Auteur
F. Rivadulla
  • Fonction : Auteur
F. Sanchez
  • Fonction : Auteur

Résumé

no abstract
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01489346 , version 1 (14-03-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01489346 , version 1

Citer

Adrien Carretero-Genevrier, M. Gich, J. Vila-Fungueiriño, G. Drisko, L. Picas, et al.. Monolithic integration of functional oxides in silicon by chemical solution deposition. MRS 2015 Spring Meeting, 2015, San Francisco, USA, United States. ⟨hal-01489346⟩
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