Monolithic integration of functional oxides in silicon by chemical solution deposition
Résumé
no abstract
Laboratoire INL UMR5270 Inl : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01489346
Soumis le : mardi 14 mars 2017-14:10:17
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:04