Luminescent point defect formation in 3C-SiC by ion implantation

A. Salam (1) , Lydie Ferrier (1) , Bruno Canut (2) , Nicolas Chauvin (2) , Gérard Guillot (2) , Jean-Marie Bluet (2)

1 INL - Photonique - INL - Nanophotonique
2 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux

no abstract

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Optique / photonique

A. Salam, Lydie Ferrier, Bruno Canut, Nicolas Chauvin, Gérard Guillot, et al.. Luminescent point defect formation in 3C-SiC by ion implantation. physica status solidi (c), 2016, 13, pp.860-863. ⟨10.1002/pssc.201600139⟩. ⟨hal-01489108⟩