Grazing incidence x-ray scattering investigation of Si surface patterned with buried dislocation networks

F. Leroy (1) , J. Eymery (2) , D. Buttard (3) , G. Renaud , R. Lazzari (4) , F. Fournel (5)

1 CINaM - Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille
2 SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 INSP-E9 - Oxydes en basses dimensions
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Chimie-Physique [physics.chem-ph]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Electromagnétisme; Optique / photonique

F. Leroy, J. Eymery, D. Buttard, G. Renaud, R. Lazzari, et al.. Grazing incidence x-ray scattering investigation of Si surface patterned with buried dislocation networks. Applied Physics Letters, 2003, 82 (16), pp.2598 - 2600. ⟨10.1063/1.1568545⟩. ⟨hal-01442883⟩