Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
amael caillard : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01358840
Soumis le : jeudi 1 septembre 2016-14:28:35
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01358840 , version 1
Citer
Mariem El Mokh, Amael Caillard, Thomas Lecas, Anne Lise Thomann. Energetic contributions at the substrate in various regimes of reactive magnetron
sputter deposition. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-01358840⟩
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