PiezoNEMS for Sensing and Energy Harvesting

Montes L. (1) , Xu X. , Potie A. , Bercu B. (2) , Hinchet R. (1) , Rochette F. (1) , Ardila G. (1) , Morfouli P. (1) , Mouis M. (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 GDF Suez - Gaz de France Suez

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Montes L., Xu X., Potie A., Bercu B., Hinchet R., et al.. PiezoNEMS for Sensing and Energy Harvesting. Strategical Conference of EU-Taiwan, Mar 2013, Taipei, Taiwan. ⟨hal-01182206⟩